氣體質量流量控制器主要是采用溫度變化對應于質量流量的原理，可以對不同的氣體進行流量量測及控制，所以氣體質量流量控制器的應用在工業(yè)中比較廣泛，作為一個相對精密的儀器，想要儀器有一個相對長久的使用壽命，就離不開我們在使用過程中做好維護，而且也要做好記錄。

那么接下來我們就講一下氣體質量流量控制器的日常維護。

　　一、氣體質量流量控制器使用一段時間后需定期的對氣體質量流量控制器拆開進行內部的雜物整理一下，在檢查是否有受損的零件；

　　二、檢查氣體質量流量控制器的管道剛性是否是缺乏的狀態(tài)，如果是就建議將管道用支架固定，避免作業(yè)時出現振蕩現象；

　　三、不要忘記氣體質量流量控制器里外的污染整理，避免密封面的損壞；

　　四、注意檢測質量流量控制器的濃度測量范圍：各類質量流量控制器都有其固定的檢測范圍。只有在其測定范圍內完成測量，才能保證質量流量控制器準確地進行測定。

　　五、注意經常性的校準和檢測：氣體質量流量控制器也同其它的分析檢測儀器一樣，都是用相對比較的方法進行測定的。因此，隨時對氣體質量流量控制器進行校零，經常性對儀器進行校準都是保證儀器測量準確的不可少的工作。